गेल्या काही वर्षांत चिप एमबीई प्रकल्प पूर्ण झाला.

तंत्रज्ञान

मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी, किंवा एमबीई, हे क्रिस्टल सब्सट्रेटवर क्रिस्टल्सचे उच्च-गुणवत्तेचे पातळ थर वाढवण्याचे एक नवीन तंत्र आहे. अति-उच्च निर्वात परिस्थितीत, सर्व प्रकारच्या आवश्यक घटकांनी सुसज्ज असलेल्या हीटिंग स्टोव्हद्वारे वाफ निर्माण करून, कोलिमेटिंग बीम अणू किंवा रेणूंच्या बीमनंतर तयार झालेल्या छिद्रांमधून, योग्य तापमानाच्या सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेटवर थेट इंजेक्ट केले जाते. त्याच वेळी सब्सट्रेटवर आण्विक बीमचे स्कॅनिंग नियंत्रित करून, क्रिस्टलच्या संरेखित थरांमधील रेणू किंवा अणूंना सब्सट्रेटवर पातळ थर तयार करण्यासाठी "वाढ" घडवून आणली जाते.

एमबीई उपकरणांच्या सामान्य कार्यासाठी, उच्च शुद्धता, कमी दाब आणि अति-स्वच्छ द्रव नायट्रोजन उपकरणाच्या शीतकरण कक्षात सतत आणि स्थिरपणे वाहून नेणे आवश्यक असते. सामान्यतः, द्रव नायट्रोजन पुरवणाऱ्या टाकीचा आउटपुट दाब ०.३ MPa ते ०.८ MPa दरम्यान असतो. -१९६℃ तापमानातील द्रव नायट्रोजन पाईपलाईनमधून वाहतूक करताना सहजपणे नायट्रोजनमध्ये रूपांतरित होतो. एकदा का सुमारे १:७०० वायू-द्रव गुणोत्तर असलेला द्रव नायट्रोजन पाईपलाईनमध्ये वायूरूप झाला की, तो द्रव नायट्रोजनच्या प्रवाहाची मोठी जागा व्यापतो आणि द्रव नायट्रोजन पाईपलाईनच्या शेवटी सामान्य प्रवाह कमी करतो. याव्यतिरिक्त, द्रव नायट्रोजन साठवण टाकीमध्ये, न साफ ​​केलेला कचरा असण्याची शक्यता असते. द्रव नायट्रोजन पाईपलाईनमध्ये, दमट हवेच्या अस्तित्वामुळे बर्फाचा गाळ (ice slag) देखील तयार होतो. जर या अशुद्धी उपकरणात सोडल्या गेल्या, तर त्यामुळे उपकरणाचे अनपेक्षित नुकसान होईल.

त्यामुळे, बाहेरील साठवण टाकीमधील द्रव नायट्रोजन धूळमुक्त कार्यशाळेतील एमबीई उपकरणांपर्यंत उच्च कार्यक्षमतेने, स्थिरतेने आणि स्वच्छपणे वाहून नेला जातो, आणि कमी दाब, नायट्रोजनचा अभाव, अशुद्धी नसणे, २४ तास अखंडितपणे अशी वाहतूक नियंत्रण प्रणाली हे एक पात्र उत्पादन आहे.

टीसीएम (4)
टीसीएम (1)
टीसीएम (3)

जुळणारे एमबीई उपकरणे

२००५ पासून, एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (HL CRYO) ही प्रणाली ऑप्टिमाइझ व सुधारित करत आहे आणि आंतरराष्ट्रीय एमबीई उपकरण उत्पादकांसोबत सहकार्य करत आहे. डीसीए (DCA), रेबर (REBER) यांसारख्या एमबीई उपकरण उत्पादकांचे आमच्या कंपनीसोबत सहकारी संबंध आहेत. डीसीए आणि रेबर यांसारख्या एमबीई उपकरण उत्पादकांनी मोठ्या संख्येने प्रकल्पांमध्ये सहकार्य केले आहे.

रायबर एसए ही संयुक्त सेमीकंडक्टर संशोधन आणि औद्योगिक अनुप्रयोगांसाठी मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (एमबीई) उत्पादने आणि संबंधित सेवांची एक अग्रगण्य जागतिक पुरवठादार आहे. रायबर एमबीई उपकरण अत्यंत उच्च नियंत्रणासह सबस्ट्रेटवर पदार्थाचे खूप पातळ थर जमा करू शकते. एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (एचएल क्रायो) ची व्हॅक्यूम उपकरणे रायबर एसएने सुसज्ज आहेत. सर्वात मोठे उपकरण रायबर 6000 आहे आणि सर्वात लहान कॉम्पॅक्ट 21 आहे. ते चांगल्या स्थितीत आहे आणि ग्राहकांकडून त्याला मान्यता मिळाली आहे.

DCA ही जगातील अग्रगण्य ऑक्साइड MBE आहे. १९९३ पासून, ऑक्सिडेशन तंत्र, अँटिऑक्सिडंट सबस्ट्रेट हीटिंग आणि अँटिऑक्सिडंट स्रोतांचा पद्धतशीर विकास केला गेला आहे. याच कारणामुळे, अनेक अग्रगण्य प्रयोगशाळांनी DCA ऑक्साइड तंत्रज्ञानाची निवड केली आहे. जगभरात कंपोझिट सेमीकंडक्टर MBE प्रणाली वापरल्या जातात. HL क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (HL CRYO) ची VJ लिक्विड नायट्रोजन सर्क्युलेटिंग प्रणाली आणि DCA च्या P600, R450, SGC800 इत्यादी अनेक मॉडेल्सच्या MBE उपकरणांमध्ये अनेक प्रकल्पांमध्ये ताळमेळाचा अनुभव आहे.

टीसीएम (2)

कामगिरी तक्ता

शांघाय इन्स्टिट्यूट ऑफ टेक्निकल फिजिक्स, चायनीज ॲकॅडमी ऑफ सायन्सेस
चीन इलेक्ट्रॉनिक्स तंत्रज्ञान महामंडळाची ११ वी संस्था
इन्स्टिट्यूट ऑफ सेमीकंडक्टर्स, चायनीज ॲकॅडमी ऑफ सायन्सेस
हुआवे
अलीबाबा डॅमो अकादमी
पॉवरटेक टेक्नॉलॉजी इंक.
डेल्टा इलेक्ट्रॉनिक्स इंक.
सुझो एव्हरब्राईट फोटोनिक्स

पोस्ट करण्याची वेळ: २६ मे २०२१