सेमीकंडक्टर प्रकल्पांसाठी क्रायोजेनिक पुरवठा प्रणालीची रचना कशी करावी?

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये तापमान, दाब किंवा शुद्धतेमधील अगदी लहान बदल देखील उत्पादनक्षमतेवर परिणाम करू शकतात. एचएल क्रायोजेनिक्समध्ये आम्ही प्रत्येक क्रायोजेनिक ट्रान्सफर सिस्टीमची रचना सातत्यपूर्ण औष्णिक कार्यक्षमता आणि संपूर्ण स्वच्छता प्रदान करण्यासाठी करतो. एचिंग, लिथोग्राफी आणि वेफर कूलिंग सिस्टीम यांसारख्या महत्त्वपूर्ण उपकरणांसाठी हे विशेषतः महत्त्वाचे आहे.

पूर्व आशियातील सेमीकंडक्टर प्रकल्पांना सामान्य औद्योगिक वायू वापरापेक्षा काहीतरी वेगळ्याची गरज असते:

अत्यंत कमी कंपन आणि दाबातील बदल
दूषित होण्याचा धोका नाही
सतत चालू, दिवसाचे २४ तास, आठवड्याचे सातही दिवस

यामुळे प्रणालीची रचना बहुतांश एलएनजी पायाभूत सुविधा किंवा मोठ्या औद्योगिक वायू प्रकल्पांच्या तुलनेत खूपच अधिक कठोर बनते.

एका सामान्य प्रणालीमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश असतो:

स्थिर कार्यप्रणाली सुनिश्चित करण्यासाठी, प्रत्येक घटकाची रचना एका पूर्णपणे एकात्मिक प्रणालीचा भाग म्हणून केली पाहिजे.

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड लवचिक नळी

अनुक्रमणिका
१. अभियांत्रिकी तत्त्व: उष्णता गळती कमी करणे
२. व्हॅक्यूम स्थिरता आणि दीर्घकालीन कार्यक्षमता
३. दाब अभिकल्प आणि प्रवाह स्थिरता
४. आंतरराष्ट्रीय मानकांचे पालन

अभियांत्रिकी तत्त्व: उष्णता गळती कमी करणे

कोणत्याही द्रव नायट्रोजन प्रणालीचे मुख्य उद्दिष्ट उष्णता आत शिरण्यापासून रोखणे हे असते. उष्णता यामधून जाते:

पाईपच्या आधारांमधून आणि सामग्रीमधून वहन
आतील आणि बाहेरील नळ्यांच्या भिंतींमधील किरणोत्सर्ग
निर्वात जागेत शिल्लक राहिलेले वायू संवहन

आमचेव्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईपएचएल क्रायोजेनिक्समधील प्रणाली अत्यंत उच्च व्हॅक्यूम पातळी (10⁻⁴ ते 10⁻⁶ mbar) तयार करण्यासाठी बनवल्या आहेत, ज्यामुळे उष्णता हस्तांतरणाचे हे मार्ग मोठ्या प्रमाणात मंदावतात.

अंतिम परिणाम असा आहे:

कमी दराने उकळणे
स्थिर दाब पातळी
संपूर्ण प्रणालीसाठी उत्तम कार्यक्षमता

व्हॅक्यूम इन्सुलेशनसह व्हॉल्व्ह

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्हयाची खात्री करते की:

नियंत्रण बिंदूंमध्ये थोडी उष्णता पोहोचते
अत्यंत थंड परिस्थितीत विश्वसनीय विलगीकरण
कमी देखभालीसह दीर्घायुष्य

संचालन आणि देखभाल चक्रांदरम्यान, प्रणाली चांगल्या स्थितीत ठेवण्यासाठी हे व्हॉल्व्ह आवश्यक असतात.

निर्वात स्थिरता आणि दीर्घकालीन कामगिरी

फेज सेपरेटर1

आमच्या एकत्र करूनडायनॅमिक व्हॅक्यूम पंप सिस्टम, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्हआणिफेज सेपरेटरआम्ही तुम्हाला एक अशी प्रणाली देतो, जी द्रव हेलियमची कार्यक्षमतेने वाहतूक करते आणि खर्च कमी ठेवते.मिनी टँकआणिलवचिक नळ्याचला आपण फिरती आणि स्थिर दोन्ही प्रकारची कामे अचूकतेने हाताळूया.

क्रायोजेनिक प्रणालींसाठी दीर्घकाळ निर्वात स्थिती टिकवून ठेवणे ही एक मोठी समस्या आहे. सूक्ष्म गळती आणि पदार्थातून वायू बाहेर पडल्यामुळे पारंपरिक स्थिर निर्वात प्रणाली निकामी होतात.

आमचेडायनॅमिक व्हॅक्यूम पंप सिस्टमहे याप्रमाणे दुरुस्त करते:

व्हॅक्यूमच्या पातळीवर नेहमी लक्ष ठेवणे
नियमितपणे व्हॅक्यूमची स्थिती पूर्ववत करणे
कामगिरी आणखी खराब होण्यापासून थांबवणे

यामुळे हे सुनिश्चित होते की व्हॅक्यूम इन्सुलेशन दीर्घ कालावधीसाठी त्याच प्रकारे कार्य करते, जे अशा सेमीकंडक्टर फॅब्ससाठी महत्त्वाचे आहे ज्यांना एका वेळी अनेक वर्षे बंद न होता विश्वसनीयतेची आवश्यकता असते.

फेज सेपरेटरव्हॅक्यूम इन्सुलेशनसह

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेडफेज सेपरेटरयासाठी खूप महत्त्वाचे आहे:

द्रव नायट्रोजनमधून वाफ बाहेर काढणे
संवेदनशील उपकरणांपर्यंत गॅस पोहोचण्यापासून रोखणे
प्रवाहाच्या खालच्या बाजूला दाब आणि तापमान स्थिर ठेवणे

हे विशेषतः सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी महत्त्वाचे आहे, जिथे वायूचे अगदी लहान बुडबुडे देखील प्रक्रियांमध्ये अडथळा आणू शकतात.

लवचिक नळीव्हॅक्यूम इन्सुलेशनसह

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेडलवचिक नळीतुम्हाला देते:

उपकरणे जोडण्यासाठी यांत्रिक लवचिकता
कंपन वेगळे करणे
इन्सुलेशनची कार्यक्षमता कायम ठेवली

योग्य प्रकारे डिझाइन केलेल्या क्रायोजेनिक होज सिस्टीममुळे कडक पाइपिंगवर ताण येत नाही आणि उच्च-सुस्पष्टतेच्या परिस्थितीत ते अधिक विश्वसनीय बनते.

दाब रचना आणि प्रवाह स्थिरता आणि सामग्री निवड आणि स्वच्छता

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांमध्ये, तापमान स्थिर ठेवण्याइतकेच दाब स्थिर ठेवणेही महत्त्वाचे आहे. काही सामान्य प्रणाली मापदंड खालीलप्रमाणे आहेत:

कार्यरत दाब: ६–१० बार
डिझाइनसाठी दाब: १६ ते २५ बार
प्रवाहाची स्थिती: साधनाच्या गरजेच्या प्रमाणानुसार खूप भिन्न असते.

दाबातील बदलांमुळे खालील गोष्टी घडू शकतात:

अवस्था अस्थिरता (द्रव अवस्थेतून वायू अवस्थेत होणारा बदल)
प्रक्रियेतील विसंगती
उपकरण काम करत नाही

हे दुरुस्त करण्यासाठी, आम्ही क्रायोजेनिक पाईप नेटवर्कचा आकार काळजीपूर्वक ठरवतो आणि जोडतोव्हॅक्यूम इन्सुलेटेड फेज सेपरेटरप्रवाह स्थिर ठेवण्यासाठी आणि द्रव अवस्थेचा पुरवठा करण्यासाठीची एकके.
उत्तम कामगिरी आणि स्वच्छता या दोन्हीसाठी योग्य साहित्याची निवड करणे खूप महत्त्वाचे आहे. आम्ही सहसा वापरतो:

स्टेनलेस स्टीलचे (उदाहरणार्थ, SS304/316L) बनवलेले आतील पाईप
आधारांसाठी कमी औष्णिक वाहकता असलेले साहित्य
उच्च परावर्तकता असलेले बहुस्तरीय इन्सुलेशन (MLI)

सेमीकंडक्टर-ग्रेड शुद्धतेच्या मानकांची पूर्तता करण्यासाठी एचएल क्रायोजेनिक्सच्या सर्व सिस्टीम्स कठोर स्वच्छता प्रक्रियेतून जातात, ज्यामुळे कणांच्या दूषिततेचा धोका नाहीसा होतो.

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह

आंतरराष्ट्रीय मानकांचे पालन

जागतिक स्वीकृती आणि खरेदीतील विश्वास सुनिश्चित करण्यासाठी, आम्ही खालील बाबींचे पालन करून प्रणालींची रचना करतो:

  • एएसएमईबी३१.३
  • डीआयएन ईएन १३४८०
  • क्रायोजेनिक उपकरणांसाठी आयएसओ मानके

हे विशेषतः खालील प्रकल्पांसाठी महत्त्वाचे आहे:

  • पूर्व आशियातील सेमीकंडक्टर सुविधा
  • युरोपमधील औद्योगिक वायू संयंत्रे
  • आग्नेय आशियातील उच्च-तंत्रज्ञान उत्पादन केंद्रे

तैवानमधील एका इलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादकासाठी आमच्या शेवटच्या कामादरम्यान, आम्ही द्रव नायट्रोजनसाठी एक पूर्ण-प्रमाणातील प्रणाली स्थापित केली.व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईप, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड लवचिक नळी,आणिडायनॅमिक व्हॅक्यूम पंप सिस्टम.

ज्या मुख्य समस्यांना सामोरे जावे लागले त्या खालीलप्रमाणे होत्या:

दूरचा पुरवठा मार्ग (>५०० मीटर लांब)
स्थिर दाबाची मागणी (±०.२ बार फरकासह)
अखंड संचालन

आमच्या प्रणालीद्वारे मिळालेले निकाल:

पारंपरिक पाईपलाईनच्या तुलनेत ९५% पेक्षा जास्त उष्णता हानी कमी होते
अवस्था बदलाशिवाय द्रव प्रवाह
निर्वात स्थिती कायम राखून १८ महिने सतत संचालन

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न

एचएल क्रायोजेनिक्सची निवड का करावी?

१९९२ पासून, एचएल क्रायोजेनिक्सने विविध ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी तयार केलेल्या उच्च-व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड क्रायोजेनिक पाइपिंग सिस्टीम आणि संबंधित सहाय्यक उपकरणांच्या डिझाइन आणि उत्पादनात विशेष प्राविण्य मिळवले आहे. आमच्याकडे ASME, CE, आणि ISO 9001 प्रमाणपत्रे आहेत आणि आम्ही अनेक नामांकित आंतरराष्ट्रीय उद्योगांना उत्पादने व सेवा पुरवल्या आहेत. आमची टीम प्रामाणिक, जबाबदार आणि आम्ही हाती घेतलेल्या प्रत्येक प्रकल्पात उत्कृष्टतेसाठी वचनबद्ध आहे.

आम्ही कोणती उत्पादने आणि उपाययोजना देतो?

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड/जॅकेटेड पाईप
व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड/जॅकेटेड लवचिक नळी
फेज सेपरेटर / व्हेपर व्हेंट
व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (न्यूमॅटिक) शट-ऑफ व्हॉल्व्ह
व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड चेक व्हॉल्व्ह
व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड रेग्युलेटिंग व्हॉल्व्ह
कोल्ड बॉक्स आणि कंटेनरसाठी व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड कनेक्टर
एमबीई द्रव नायट्रोजन शीतकरण प्रणाली
VI पाइपिंगशी संबंधित इतर क्रायोजेनिक सहाय्यक उपकरणे — ज्यामध्ये सेफ्टी रिलीफ व्हॉल्व्ह गट, द्रव पातळी मापक, थर्मामीटर, दाब मापक, व्हॅक्यूम मापक आणि इलेक्ट्रिक कंट्रोल बॉक्स यांचा समावेश आहे, परंतु ते एवढ्यापुरतेच मर्यादित नाही.

किमान ऑर्डरची संख्या किती आहे?

आम्ही एका वस्तूपासून ते मोठ्या प्रकल्पांपर्यंत, कोणत्याही आकाराच्या मागण्या आनंदाने स्वीकारतो.

एचएल क्रायोजेनिक्स कोणत्या उत्पादन मानकांचे पालन करते?

एचएल क्रायोजेनिक्सचे व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईप (व्हीआयपी) हे आमचे मानक म्हणून ASME B31.3 प्रेशर पायपिंग कोडनुसार तयार केले जाते.

एचएल क्रायोजेनिक्स कोणता कच्चा माल वापरते?

एचएल क्रायोजेनिक्स ही एक विशेष व्हॅक्यूम उपकरणे बनवणारी कंपनी आहे, जी सर्व कच्चा माल केवळ पात्र पुरवठादारांकडूनच मिळवते. आम्ही ग्राहकांच्या विनंतीनुसार विशिष्ट मानके आणि आवश्यकता पूर्ण करणारा माल मिळवू शकतो. आमच्या नेहमीच्या मालाच्या निवडीमध्ये ॲसिड पिक्लिंग, मेकॅनिकल पॉलिशिंग, ब्राईट ॲनीलिंग आणि इलेक्ट्रो पॉलिशिंग यांसारख्या पृष्ठभागीय प्रक्रियांसह ASTM/ASME 300 स्टेनलेस स्टीलचा समावेश असतो.

व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईपची वैशिष्ट्ये काय आहेत?

आतील पाईपचा आकार आणि डिझाइन दाब ग्राहकाच्या गरजेनुसार निर्धारित केले जातात. ग्राहकाने अन्यथा निर्दिष्ट केले नसल्यास, बाहेरील पाईपचा आकार एचएल क्रायोजेनिक्सच्या मानक विनिर्देशांनुसार असतो.

स्टॅटिक VI पायपिंग आणि VI फ्लेक्झिबल होज सिस्टीमचे फायदे काय आहेत?

पारंपरिक पाइपिंग इन्सुलेशनच्या तुलनेत, स्टॅटिक व्हॅक्यूम सिस्टीम उत्कृष्ट थर्मल इन्सुलेशन प्रदान करते, ज्यामुळे ग्राहकांसाठी गॅसिफिकेशनमधील नुकसान कमी होते. तसेच, ही डायनॅमिक VI सिस्टीमपेक्षा अधिक किफायतशीर आहे, ज्यामुळे प्रकल्पांसाठी आवश्यक असलेली प्रारंभिक गुंतवणूक कमी होते.


पोस्ट करण्याची वेळ: १३ एप्रिल २०२६