



अर्धवाहक आणि चिप उद्योगात द्रव नायट्रोजन शीतकरण प्रणाली मोठ्या प्रमाणात वापरली जातात, ज्यामध्ये खालील प्रक्रियांचा समावेश आहे:
- आण्विक बीम एपिटॅक्सी (MBE) ची तंत्रज्ञान
- COB पॅकेज नंतर चिपची चाचणी
संबंधित उत्पादने
आण्विक किरण एपिटॅक्सि
१९५० च्या दशकात व्हॅक्यूम बाष्पीभवन तंत्रज्ञानाचा वापर करून अर्धवाहक पातळ फिल्म साहित्य तयार करण्यासाठी मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (MBE) तंत्रज्ञान विकसित करण्यात आले. अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, तंत्रज्ञानाचा वापर अर्धवाहक विज्ञानाच्या क्षेत्रात वाढला आहे.
एचएलने एमबीई लिक्विड नायट्रोजन कूलिंग सिस्टमची मागणी लक्षात घेतली आहे, एमबीई तंत्रज्ञानासाठी एक विशेष एमबीई लिक्विड नायट्रोजन कूइंग सिस्टम आणि व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग सिस्टमचा संपूर्ण संच यशस्वीरित्या विकसित करण्यासाठी संघटित तांत्रिक आधारस्तंभ आहे, जो अनेक उपक्रम, विद्यापीठे आणि संशोधन संस्थांमध्ये वापरला गेला आहे.
सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगातील सामान्य समस्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
- टर्मिनल (MBE) उपकरणांमध्ये द्रव नायट्रोजनचा दाब. टर्मिनल (MBE) उपकरणांना हानी पोहोचवणाऱ्या दाबाच्या ओव्हरलोडला प्रतिबंधित करा.
- मल्टिपल क्रायोजेनिक लिक्विड इनलेट आणि आउटलेट नियंत्रणे
- टर्मिनल उपकरणांमध्ये द्रव नायट्रोजनचे तापमान
- क्रायोजेनिक वायू उत्सर्जनाचे वाजवी प्रमाण
- (स्वयंचलित) मुख्य आणि शाखा लाईन्सचे स्विचिंग
- व्हीआयपीचे दाब समायोजन (कमी करणे) आणि स्थिरता
- टाकीमधून संभाव्य अशुद्धता आणि बर्फाचे अवशेष साफ करणे
- टर्मिनल लिक्विड उपकरणाचा भरण्याचा वेळ
- पाइपलाइन प्रीकूलिंग
- व्हीआयपी सिस्टीममध्ये द्रव प्रतिकार
- सिस्टमच्या अखंड सेवेदरम्यान द्रव नायट्रोजनचे नुकसान नियंत्रित करा
एचएलचा व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईप (व्हीआयपी) हा मानक म्हणून ASME B31.3 प्रेशर पाईपिंग कोडनुसार तयार केला आहे. अभियांत्रिकी अनुभव आणि गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता ग्राहकाच्या प्लांटची कार्यक्षमता आणि किफायतशीरता सुनिश्चित करते.
उपाय
एचएल क्रायोजेनिक उपकरण ग्राहकांना सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगाच्या आवश्यकता आणि अटी पूर्ण करण्यासाठी व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईपिंग सिस्टम प्रदान करते:
१.गुणवत्ता व्यवस्थापन प्रणाली: ASME B31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड.
२. ऑटोमॅटिक कंट्रोल फंक्शनसह मल्टिपल क्रायोजेनिक लिक्विड इनलेट आणि आउटलेटसह एक स्पेशल फेज सेपरेटर गॅस उत्सर्जन, पुनर्नवीनीकरण केलेले लिक्विड नायट्रोजन आणि लिक्विड नायट्रोजनच्या तापमानाची आवश्यकता पूर्ण करतो.
३.पुरेसे आणि वेळेवर एक्झॉस्ट डिझाइन हे सुनिश्चित करते की टर्मिनल उपकरणे नेहमीच डिझाइन केलेल्या दाब मूल्यात काम करतात.
४. गॅस-लिक्विड बॅरियर VI पाइपलाइनच्या शेवटी उभ्या VI पाईपमध्ये ठेवलेला असतो. गॅस-लिक्विड बॅरियर VI पाइपलाइनच्या टोकापासून VI पाइपिंगमध्ये जाणारी उष्णता रोखण्यासाठी गॅस सील तत्त्वाचा वापर करतो आणि सिस्टमच्या अखंड आणि अधूनमधून सेवेदरम्यान द्रव नायट्रोजनचे नुकसान प्रभावीपणे कमी करतो.
५. व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह (VIV) मालिकेद्वारे नियंत्रित VI पाइपिंग: व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (न्यूमॅटिक) शट-ऑफ व्हॉल्व्ह, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड चेक व्हॉल्व्ह, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड रेग्युलेटिंग व्हॉल्व्ह इत्यादींचा समावेश आहे. आवश्यकतेनुसार VIP नियंत्रित करण्यासाठी विविध प्रकारचे VIV मॉड्यूलर एकत्र केले जाऊ शकतात. VIV हे उत्पादकाच्या VIP प्रीफॅब्रिकेशनसह एकत्रित केले जाते, साइटवर इन्सुलेटेड ट्रीटमेंटशिवाय. VIV चे सील युनिट सहजपणे बदलता येते. (HL ग्राहकांनी नियुक्त केलेल्या क्रायोजेनिक व्हॉल्व्ह ब्रँडला स्वीकारते आणि नंतर HL द्वारे व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह बनवते. काही ब्रँड आणि मॉडेल्सचे व्हॉल्व्ह व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्हमध्ये बनवता येत नाहीत.)
६. स्वच्छता, जर आतील नळीच्या पृष्ठभागाच्या स्वच्छतेसाठी अतिरिक्त आवश्यकता असतील तर. स्टेनलेस स्टीलचा गळती कमी करण्यासाठी ग्राहकांना व्हीआयपी आतील पाईप म्हणून बीए किंवा ईपी स्टेनलेस स्टील पाईप्स निवडण्याची सूचना केली जाते.
७. व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड फिल्टर: टाकीमधून संभाव्य अशुद्धता आणि बर्फाचे अवशेष साफ करा.
८. काही दिवस किंवा त्याहून अधिक काळ बंद राहिल्यानंतर किंवा देखभाल केल्यानंतर, क्रायोजेनिक द्रव थेट VI पाईपिंग आणि टर्मिनल उपकरणांमध्ये प्रवेश केल्यानंतर बर्फाचा ढिगारा टाळण्यासाठी, क्रायोजेनिक द्रव आत येण्यापूर्वी VI पाईपिंग आणि टर्मिनल उपकरणे प्री-कूलिंग करणे अत्यंत आवश्यक आहे. डिझाइनमध्ये प्री-कूलिंग फंक्शनचा विचार केला पाहिजे. हे टर्मिनल उपकरणे आणि व्हॉल्व्हसारख्या VI पाईपिंग सपोर्ट उपकरणांसाठी चांगले संरक्षण प्रदान करते.
९. डायनॅमिक आणि स्टॅटिक व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (लवचिक) पाईपिंग सिस्टम दोन्हीसाठी सूट.
१०. डायनॅमिक व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (फ्लेक्सिबल) पाईपिंग सिस्टम: VI फ्लेक्सिबल होसेस आणि/किंवा VI पाईप, जंपर होसेस, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह सिस्टम, फेज सेपरेटर आणि डायनॅमिक व्हॅक्यूम पंप सिस्टम (व्हॅक्यूम पंप, सोलेनॉइड व्हॉल्व्ह आणि व्हॅक्यूम गेज इत्यादींसह) यांचा समावेश आहे. सिंगल VI फ्लेक्सिबल होसेसची लांबी वापरकर्त्याच्या गरजेनुसार कस्टमाइज केली जाऊ शकते.
११. विविध कनेक्शन प्रकार: व्हॅक्यूम बेयोनेट कनेक्शन (VBC) प्रकार आणि वेल्डेड कनेक्शन निवडता येते. VBC प्रकाराला साइटवर इन्सुलेटेड ट्रीटमेंटची आवश्यकता नसते.