द्रव नायट्रोजन शीतकरण प्रणाली सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात, ज्यामध्ये खालील प्रक्रियांचा समावेश आहे,
- मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (एमबीई) तंत्रज्ञान
- COB पॅकेज नंतर चिपची चाचणी
संबंधित उत्पादने
आण्विक बीम एपिटॅक्सी
व्हॅक्यूम इव्हॅपोरेशन तंत्रज्ञानाचा वापर करून सेमीकंडक्टर थिन फिल्म मटेरियल तयार करण्यासाठी मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (MBE) हे तंत्रज्ञान १९५० च्या दशकात विकसित केले गेले. अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम तंत्रज्ञानाच्या विकासामुळे, या तंत्रज्ञानाचा वापर सेमीकंडक्टर विज्ञानाच्या क्षेत्रात विस्तारला आहे.
एमबीई लिक्विड नायट्रोजन कूलिंग सिस्टीमची मागणी लक्षात घेऊन, एचएलने तांत्रिक पाठबळ संघटित केले आणि एमबीई तंत्रज्ञानासाठी एक विशेष एमबीई लिक्विड नायट्रोजन कूलिंग सिस्टीम तसेच व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग सिस्टीमचा संपूर्ण संच यशस्वीरित्या विकसित केला, ज्याचा वापर अनेक उद्योग, विद्यापीठे आणि संशोधन संस्थांमध्ये केला गेला आहे.
सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगाच्या सामान्य समस्यांमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश होतो,
- टर्मिनल (एमबीई) उपकरणांमध्ये द्रव नायट्रोजनचा दाब. दाब अतिभारामुळे टर्मिनल (एमबीई) उपकरणांचे होणारे नुकसान टाळा.
- एकाधिक क्रायोजेनिक द्रव प्रवेश आणि निर्गम नियंत्रणे
- टर्मिनल उपकरणांमध्ये द्रव नायट्रोजनचे तापमान
- क्रायोजेनिक वायू उत्सर्जनाचे वाजवी प्रमाण
- मुख्य आणि शाखा मार्गांचे (स्वयंचलित) स्विचिंग
- व्हीआयपीचा दाब समायोजन (कमी करणे) आणि स्थिरता
- टाकीमधील संभाव्य अशुद्धी आणि बर्फाचे अवशेष स्वच्छ करणे
- टर्मिनल लिक्विड इक्विपमेंटचा भरण्याचा वेळ
- पाईपलाईन प्रीकूलिंग
- व्हीआयपी सिस्टममधील द्रव प्रतिरोध
- प्रणालीच्या खंडित सेवेदरम्यान द्रव नायट्रोजनची होणारी हानी नियंत्रित करा
एचएलचे व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईप (व्हीआयपी) हे मानक म्हणून एएसएमई बी३१.३ प्रेशर पायपिंग कोडनुसार बनवलेले आहे. ग्राहकाच्या प्लांटची कार्यक्षमता आणि किफायतशीरता सुनिश्चित करण्यासाठी अभियांत्रिकी अनुभव आणि गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता.
उपाय
एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगाच्या गरजा व परिस्थिती पूर्ण करण्यासाठी ग्राहकांना व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पायपिंग सिस्टीम पुरवते:
१. गुणवत्ता व्यवस्थापन प्रणाली: ASME B31.3 प्रेशर पायपिंग कोड.
२. स्वयंचलित नियंत्रण कार्यासह एकाधिक क्रायोजेनिक द्रव इनलेट आणि आउटलेट असलेला एक विशेष फेज सेपरेटर वायू उत्सर्जन, पुनर्वापर केलेले द्रव नायट्रोजन आणि द्रव नायट्रोजनच्या तापमानाची आवश्यकता पूर्ण करतो.
३. पुरेसे आणि वेळेवर केलेले एक्झॉस्ट डिझाइन हे सुनिश्चित करते की टर्मिनल उपकरणे नेहमी डिझाइन केलेल्या दाब मर्यादेतच काम करतात.
४. गॅस-लिक्विड बॅरियर हा VI पाईपलाईनच्या शेवटी उभ्या VI पाईपमध्ये बसवला जातो. गॅस-लिक्विड बॅरियर गॅस सीलच्या तत्त्वाचा वापर करून VI पाईपलाईनच्या टोकाकडून VI पाईपिंगमध्ये उष्णता जाण्यापासून रोखतो आणि सिस्टीमच्या खंडित व अधूनमधून चालणाऱ्या सेवेदरम्यान द्रव नायट्रोजनची होणारी हानी प्रभावीपणे कमी करतो.
५. VI व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह (VIV) सिरीजद्वारे नियंत्रित पाइपिंग: यामध्ये व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (न्यूमॅटिक) शट-ऑफ व्हॉल्व्ह, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड चेक व्हॉल्व्ह, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड रेग्युलेटिंग व्हॉल्व्ह इत्यादींचा समावेश आहे. आवश्यकतेनुसार व्हीआयपी (VIP) नियंत्रित करण्यासाठी विविध प्रकारचे VIV मॉड्यूलर पद्धतीने एकत्र जोडले जाऊ शकतात. VIV हे उत्पादकामध्येच व्हीआयपीच्या पूर्व-निर्मितीसोबत (prefabrication) एकात्मिक केलेले असते, त्यामुळे जागेवर (on-site) इन्सुलेशन प्रक्रिया करण्याची आवश्यकता नसते. VIV चे सील युनिट सहजपणे बदलता येते. (एचएल (HL) ग्राहकांनी निर्दिष्ट केलेला क्रायोजेनिक व्हॉल्व्ह ब्रँड स्वीकारते आणि त्यानंतर एचएलद्वारे व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह बनवते. व्हॉल्व्हचे काही ब्रँड आणि मॉडेल्स व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्हमध्ये बनवता येतीलच असे नाही.)
६. स्वच्छता, जर आतील नळीच्या पृष्ठभागाच्या स्वच्छतेसाठी अतिरिक्त आवश्यकता असतील, तर स्टेनलेस स्टीलची गळती आणखी कमी करण्यासाठी ग्राहकांनी व्हीआयपी (VIP) आतील नळ्या म्हणून बीए (BA) किंवा ईपी (EP) स्टेनलेस स्टील पाईप्स निवडावेत असे सुचवले जाते.
७. व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड फिल्टर: टाकीमधील संभाव्य अशुद्धी आणि बर्फाचे अवशेष स्वच्छ करतो.
८. काही दिवसांच्या किंवा त्याहून अधिक कालावधीच्या शटडाउन किंवा देखभालीनंतर, क्रायोजेनिक द्रव थेट VI पाइपिंग आणि टर्मिनल उपकरणांमध्ये प्रवेश करण्यापूर्वी त्यांना पूर्व-थंड करणे अत्यंत आवश्यक आहे, जेणेकरून क्रायोजेनिक द्रव VI पाइपिंग आणि टर्मिनल उपकरणांमध्ये प्रवेश केल्यावर बर्फाचा थर जमा होणे टाळता येईल. पूर्व-थंड करण्याच्या कार्याचा डिझाइनमध्ये विचार केला पाहिजे. हे टर्मिनल उपकरणे आणि व्हॉल्व्हसारख्या VI पाइपिंगला आधार देणाऱ्या उपकरणांना अधिक चांगले संरक्षण प्रदान करते.
९. डायनॅमिक आणि स्टॅटिक दोन्ही प्रकारच्या व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (फ्लेक्झिबल) पाइपिंग सिस्टीमसाठी उपयुक्त.
१०. डायनॅमिक व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (फ्लेक्झिबल) पाइपिंग सिस्टीम: यामध्ये VI फ्लेक्झिबल होसेस आणि/किंवा VI पाईप, जम्पर होसेस, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड व्हॉल्व्ह सिस्टीम, फेज सेपरेटर्स आणि डायनॅमिक व्हॅक्यूम पंप सिस्टीम (व्हॅक्यूम पंप, सोलेनॉइड व्हॉल्व्ह आणि व्हॅक्यूम गेज इत्यादींसह) यांचा समावेश असतो. एका VI फ्लेक्झिबल होसची लांबी वापरकर्त्याच्या गरजेनुसार सानुकूलित केली जाऊ शकते.
११. विविध कनेक्शन प्रकार: व्हॅक्यूम बेयोनेट कनेक्शन (VBC) प्रकार आणि वेल्डेड कनेक्शन निवडता येते. VBC प्रकारासाठी जागेवर इन्सुलेशन उपचारांची आवश्यकता नसते.