



लिक्विड नायट्रोजन कूलिंग सिस्टम सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगात मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात, ज्यात प्रक्रियेसह,
- आण्विक बीम एपिटॅक्सी (एमबीई) चे तंत्रज्ञान
- सीओबी पॅकेज नंतर चिपची चाचणी
संबंधित उत्पादने
आण्विक बीम एपिटॅक्सी
व्हॅक्यूम बाष्पीभवन तंत्रज्ञानाचा वापर करून सेमीकंडक्टर पातळ फिल्म मटेरियल तयार करण्यासाठी १ 50 s० च्या दशकात आण्विक बीम एपिटॅक्सी (एमबीई) चे तंत्रज्ञान विकसित केले गेले. अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, तंत्रज्ञानाचा वापर सेमीकंडक्टर सायन्सच्या क्षेत्रात वाढविला गेला आहे.
एचएलने एमबीई लिक्विड नायट्रोजन कूलिंग सिस्टमची मागणी लक्षात घेतली आहे, एमबीई तंत्रज्ञानासाठी एक विशेष एमबीई लिक्विड नायट्रोजन कूइंग सिस्टम यशस्वीरित्या विकसित करण्यासाठी आयोजित तांत्रिक कणा आणि व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग सिस्टमचा संपूर्ण संच, जो अनेक उपक्रम, विद्यापीठे आणि संशोधन संस्थांमध्ये वापरला गेला आहे. ?
सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगाच्या सामान्य समस्यांमध्ये समाविष्ट आहे,
- टर्मिनल (एमबीई) उपकरणांमध्ये द्रव नायट्रोजनचा दबाव. हानीकारक टर्मिनल (एमबीई) उपकरणांपासून प्रेशर ओव्हरलोड प्रतिबंधित करा.
- एकाधिक क्रायोजेनिक लिक्विड इनलेट आणि आउटलेट नियंत्रणे
- टर्मिनल उपकरणांमध्ये द्रव नायट्रोजनचे तापमान
- क्रायोजेनिक गॅस उत्सर्जनाची वाजवी प्रमाणात
- (स्वयंचलित) मुख्य आणि शाखा ओळींचे स्विचिंग
- दबाव समायोजन (कमी करणे) आणि व्हीआयपीची स्थिरता
- टँकमधून संभाव्य अशुद्धी आणि बर्फाचे अवशेष साफ करणे
- टर्मिनल लिक्विड उपकरणांची भरण्याची वेळ
- पाइपलाइन प्रीकूलिंग
- व्हीआयपी सिस्टममध्ये द्रव प्रतिकार
- सिस्टमच्या विवादास्पद सेवेदरम्यान द्रव नायट्रोजनचे नियंत्रण नुकसान
एचएलचे व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाईप (व्हीआयपी) मानक म्हणून एएसएमई बी 31.3 प्रेशर पाइपिंग कोडमध्ये तयार केले गेले आहे. अभियांत्रिकी अनुभव आणि ग्राहकांच्या वनस्पतीची कार्यक्षमता आणि खर्च-प्रभावीपणा सुनिश्चित करण्यासाठी गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता.
समाधान
एचएल क्रायोजेनिक उपकरणे ग्राहकांना सेमीकंडक्टर आणि चिप उद्योगाच्या आवश्यकता आणि अटी पूर्ण करण्यासाठी व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग सिस्टम प्रदान करते:
1. क्वालिटी मॅनेजमेंट सिस्टम: एएसएमई बी 31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड.
२. ऑटोमॅटिक कंट्रोल फंक्शनसह एकाधिक क्रायोजेनिक लिक्विड इनलेट आणि आउटलेटसह एक विशेष फेज विभाजक गॅस उत्सर्जन, पुनर्वापरित द्रव नायट्रोजन आणि द्रव नायट्रोजनचे तापमान आवश्यक आहे.
The. अचूक आणि वेळेवर एक्झॉस्ट डिझाइन हे सुनिश्चित करते की टर्मिनल उपकरणे नेहमीच डिझाइन केलेल्या दबाव मूल्यात कार्य करतात.
The. गॅस-लिक्विड अडथळा VI पाइपलाइनच्या शेवटी उभ्या VI पाईपमध्ये ठेवला जातो. गॅस-लिक्विड अडथळा गॅस सील तत्त्वाचा वापर VI पाइपलाइनच्या शेवटीपासून VI पाईपिंगमध्ये रोखण्यासाठी आणि सिस्टमच्या विघटनशील आणि मधूनमधून सेवा दरम्यान द्रव नायट्रोजनचे नुकसान प्रभावीपणे कमी करते.
Va. व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड वाल्व्ह (व्हीआयव्ही) मालिकेद्वारे नियंत्रित व्हीआय पाइपिंग: व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (वायवीय) शट-ऑफ वाल्व, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड चेक वाल्व, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड रेग्युलेटिंग वाल्व इत्यादीसह विविध प्रकारचे व्हीआयव्ही व्हीआयपी नियंत्रित करण्यासाठी मॉड्यूलर केले जाऊ शकते. आवश्यक. व्हिव्ह साइटवर इन्सुलेटेड उपचारांशिवाय निर्मात्यात व्हीआयपी प्रीफेब्रिकेशनसह समाकलित केले आहे. व्हीआयव्हीचे सील युनिट सहजपणे बदलले जाऊ शकते. (एचएल ग्राहकांद्वारे नियुक्त केलेला क्रायोजेनिक वाल्व ब्रँड स्वीकारतो आणि नंतर एचएलद्वारे व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड वाल्व्ह बनवते. काही ब्रँड आणि वाल्व्हचे मॉडेल व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड वाल्व्हमध्ये बनविण्यास सक्षम होऊ शकत नाहीत.)
6. क्लेनॅलिटी, जर अंतर्गत ट्यूब पृष्ठभागाच्या स्वच्छतेसाठी अतिरिक्त आवश्यकता असल्यास. असे सुचविले जाते की ग्राहक स्टेनलेस स्टीलच्या गळती कमी करण्यासाठी व्हीआयपी अंतर्गत पाईप्स म्हणून बीए किंवा ईपी स्टेनलेस स्टील पाईप्स निवडतील.
7. व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड फिल्टर: टँकमधून संभाव्य अशुद्धी आणि बर्फाचे अवशेष स्वच्छ करा.
The. काही दिवस किंवा त्यापेक्षा जास्त शटडाउन किंवा देखभाल नंतर, क्रायोजेनिक लिक्विड प्रविष्ट करण्यापूर्वी VI पाईपिंग आणि टर्मिनल उपकरणांची पूर्वसूचना देणे खूप आवश्यक आहे, जेणेकरून क्रायोजेनिक लिक्विड थेट VI पाईपिंग आणि टर्मिनल उपकरणांमध्ये प्रवेश केल्यानंतर बर्फ स्लॅग टाळण्यासाठी. प्रीकूलिंग फंक्शनचा डिझाइनमध्ये विचार केला पाहिजे. हे टर्मिनल उपकरणे आणि वाल्व्हसारख्या सहावा पाईपिंग समर्थन उपकरणांसाठी चांगले संरक्षण प्रदान करते.
9. डायनॅमिक आणि स्टॅटिक व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (लवचिक) पाइपिंग सिस्टम या दोहोंसाठी सूट.
१०.डायनामिक व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड (लवचिक) पाइपिंग सिस्टम: सहावा लवचिक होसेस आणि/किंवा सहावा पाईप, जम्पर होसेस, व्हॅक्यूम इन्सुलेटेड वाल्व्ह सिस्टम, फेज सेपरेटर आणि डायनॅमिक व्हॅक्यूम पंप सिस्टम (व्हॅक्यूम पंप, सोलेनोइड वाल्व्ह आणि व्हॅक्यूम गॉग्ज इ. ). एकल सहावा लवचिक नळीची लांबी वापरकर्त्याच्या आवश्यकतानुसार सानुकूलित केली जाऊ शकते.
११. विविध कनेक्शन प्रकार: व्हॅक्यूम बायोनेट कनेक्शन (व्हीबीसी) प्रकार आणि वेल्डेड कनेक्शन निवडले जाऊ शकते. व्हीबीसी प्रकाराला साइटवर इन्सुलेटेड उपचारांची आवश्यकता नाही.